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ADL直流溅射电源

描述:ADL直流溅射电源
紧凑型设备已开发用于生产和实验室设施中较小的磁子。由于操作简单安全,电源可以非常灵活地使用

  • 产品厂地:北京市
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2022-05-13
  • 访问量:519
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION
品牌其他品牌供货周期一个月以上
应用领域医疗卫生,环保,生物产业,农业,能源

  ADL直流溅射电源

  直流溅射电源GS 05 - GS 30

  紧凑型设备已开发用于生产和实验室设施中较小的磁子。由于操作简单安全,电源可以非常灵活地使用。

  弧形处理自动适应不同的过程参数,因此无需编程工作。这些设备设计用于安装在 19" 组件中。

  输出功率0.5-3.0kW

  空气 1/2 19" 内置住房, 3R

  可互换接口模块

  电压、电流和电源的数字显示屏

  通过前面板手动操作

  自动弧形处理

  直流溅射电源GS 60–GS 150

  GS 60 – GS 150 系列的气冷直流电源有三种操作变种:主动前面板、被动前面板和状态 LED。电源可在不限制切换时间的情况下全额定功率运行。

  几个模块的并行操作是可能的。GS 60–GS 150系列,像所有ADL电源一样,具有极快的自动弧线取消。设备的操作非常简单和安全。

  输出功率 6.0 - 15kW

  空气

  19" 内置住房, 3U

  无潜力输出

  焦耳时尚

  自动弧形处理

  直流溅射电源GSW 100–GSW 300

  可同时运行至240kW,可增加输出功率。有了特殊的电路概念,"主奴隶布线"可以免除。即使在非空调客房,高效的水冷却也可确保的可靠性。

  这些设备可以通过活动前面板或界面手动操作。提供各种前面板和接口模块。极快的弧形处理*自动工作,即使在并行操作中也不需要外部同步。

  输出功率10-30kW

  水冷却

  19"住房, 3 U

  电磁阀控制

  无潜力输出

  并行运行至240kW

  自动弧形处理

  直流溅射电源GX 50–GX 150

  GX 溅射电源能够自动擦除高达每秒 80,000 个弧。性能,加上小尺寸,是GX系列的突出标志。

  这些设备可以全额定功率运行,不受切换时间的限制,也可以并行连接。

  输出功率5-15kW

  水冷却

  1/2 19" 住房, 3U

  无潜力输出

  焦耳时尚

  自动弧形处理

  直流溅射电源 HX 150 - HX 300

  1/2 19"宽度和5U的极其紧凑的设计是专门为生产工厂开发的,其中将不配用控制柜。HX 具有安装选项卡,可直接集成到任何安装位置的系统中。

  显示屏是旋转的,可以从设备中分离出来。即使在非空调客房,高效的水冷却也可确保的可靠性。为了避免凝结,可以通过集成温度控制连接外部电磁阀。

  可同时运行至240kW,可增加输出功率。特殊的电路概念允许主奴隶操作和并行控制通过界面组合或Provibus。极快的弧形处理*自动工作,因此无需设置参数。

  输出功率 15kW 至 30kW

  并行运行至240kW

  水冷却

  电磁阀控制

  带灰尘颗粒分离器的住房通风

  1/219" 住房, 5U

  法兰格紧固件

  M8 女线起重机小眼

  可拆卸旋转显示屏

  自动弧形处理

  离子源电源

  对于离子源(考夫曼和ECR)的操作,提供各种特殊设备,也可以根据要求提供其他输出电压或服务。

  所有设备均可选择配备模拟接口或与 Profibus 连接。

  脉冲发生器、选项和配件

  PULSE 发电机 RD 300 与大多数 ADL 电源一起,按照共振开关原理工作。由于效率*(30kW时为99.5%),该设备非常紧凑,只能产生150W的低耗电量。

  现有系统可以很容易地进行改装,因为发电机与直流电源并行直接连接到阴极。该设备的工作频率为 2kHz。但是,使用外部信号发生器,频率可在 0.2 到 3kHz 之间变化。几个发电机可以通过控制线进行自动同步连接。

  单极脉冲发生器 SD 30、SD 150 和 SD 300

  脉冲发生器与ADL直流电源一起生成单极脉冲。这些设备的固定频率为 20kHz。使用外部信号发生器,频率变化范围从 1kHz 到 40kHz 不等。发电机具有自动电弧抑制。

  行程级别和中断时间的参数会自动适应相应的过程。不需要用户通常的编程。几个发电机可以通过控制线进行同步连接。设备自动切换到外部同步。

  输出功率 3 千瓦,15 千瓦,30 千瓦

  并行运行至240千瓦

  自动弧形处理

  无潜力输出

  自动同步

  空气

  非常紧凑的设计

  法兰格紧固件

  中频和双极脉冲发生器 SB 300

  双极脉冲发生器 SB 300 既可用作中频发生器,以生成平衡交替电流,也可用于非对称方脉冲的双极脉冲器。通过特殊的功率商控制,双磁子的目标寿命可以精确对称。

  两种不同的目标材料也可以用不对称的脉冲能力进行控制。Qotienten 控制器通过脉冲宽度调制 (PWM) 自动设置脉冲时间。该设备的固定频率为 20kHz。发电机具有自动电弧抑制。

  行程级别和中断时间的参数会自动适应相应的过程。不需要用户通常的编程!几个发电机可以通过控制线进行同步连接。设备自动切换到外部同步。

  输出功率 30kW,交流电

  主/奴隶或并行操作中的设备组合,可达 240kW

  比率功率控制器

  自动同步

  水冷却

  非常紧凑的设计

  无潜力输出

  模块化系统允许 HX (DC) 与单极脉冲发生器 (SD) 或双极脉冲发生器 (SB) 的组合

  紧凑型 1/2 19" 设计

  双极脉冲发生器与PWM控制保证对称溅射!

  超高速和全自动弧形管理

  过程可重复性:优于 1-2%

ADL直流溅射电源

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